氨水的生产工艺及流程

氨水(Ammonium hydroxide)分子式NH3·H2O(或NH4OH)，相对分子质量35.06。

1.产品性能

无色透明液体，具有氨的特殊气味，呈强碱性。比水轻，常温下饱和氨水含氨量为25%-27%,25℃时密度为0.90g/mL。能与醇、醚相混溶，遇酸剧烈反应放热生成盐，当热至沸腾时，氨气可全部从溶液中逸出。氨与空气的混合物有爆炸的危险性。

2.生产方法

电子级氨水以钢瓶装液态氨为原料，在常温下挥发出氨气，通过洗涤除去氨中杂质，通入气体吸收塔，用高纯水吸收氨，含量达到25%以上时，在百级超净间内经0.2um微孔滤膜过滤，然后分装。

3.工艺流程

4.主要设备

5.生产工艺

以工业钢瓶液态氨为原料，在常温下挥发出氨气，调节控制阀控制其流速，通入高锰酸钾、EDTA等洗涤塔，除去工业氨中杂质。

处理后的氨气，经微孔过滤器，再通入装有高纯水吸收罐内吸收氨，当含量达到25%以上时，停止通氨。吸收罐需用冷水冷却。

氨的水溶液再经0.2um微孔过滤器过滤即为电子级氨水成品。选择化学稳定性好的聚乙烯瓶，在超净环境下进行洗瓶和分装。

说明：①工业钢瓶氨含量99.5%。氨具有腐蚀性，对皮肤和呼吸道黏膜有一定刺激性，注意劳动保护。

②选择化学稳定性好的聚乙烯瓶包装，低温密闭保存。

6.产品标准

(1)低尘高纯级产品规格

含量25%-28%

杂质最高含量(×10-6)：

(2) MOS级产品规格

含量25%-28%

杂质最高含量(×10-6)：

(3) BV-Ⅰ级产品规格

含量(以NH3计)≥25%

不纯物最高含量(× 10-6)：

7.产品用途

在微电子工业中，电子级氨水作为碱性腐蚀清洗剂，可与过氧化氢、氟氢酸配套使用。